一、選型與工況確認（使用前必做）

• 型號確認：ICF253?BLF，法蘭規格 ICF253（法蘭外徑約 253 mm，金屬密封刀邊），短款結構，軸向補償量約 ±5 mm、徑向 ±3 mm、角向 ±5°，設計泄漏率 ≤1×10?1? Pa?m3/s。

• 材質與溫度：SUS316L，常規 -196℃～+200℃；高溫烘烤最高 ≤250℃（短時），不可超溫。

• 真空等級：僅限超高真空（UHV） 場景，嚴禁用于含油、含粉塵、強腐蝕氣體（如 Cl?、HCl）的系統。

• 位移與振動：必須在額定位移范圍內使用；高頻振動環境需配減振支架，避免共振。

• 介質：僅限干燥惰性氣體（N?、Ar）、潔凈工藝氣體或高真空環境，嚴禁液體、顆粒物、油污進入。

二、安裝前檢查（清潔、無損傷是真空密封關鍵）

1. 外觀檢查

• 波紋管本體：逐節查看波紋有無凹陷、鼓包、裂紋、銹蝕、針孔；波峰波谷無變形、無機械磕碰。

• 編織層：不銹鋼編織網緊密貼合本體，無松脫、斷絲、移位、磨損。

• 法蘭：ICF253 刀邊密封面無劃痕、無卷邊、無凹坑、無異物嵌入；法蘭平面平整，無變形；焊縫無發黑、裂紋、氣孔。

• 配件：配套金屬密封墊片（無氧銅或不銹鋼）無變形、無氧化、無劃痕；螺栓 / 螺母（通常 M12 或 M16）無銹蝕、螺紋完好。

1. 清潔處理（超高真空必須潔凈無油）

• 波紋管內外：用無水乙醇 + 無塵布擦拭外表面；內部用高純氮氣（99.999%）吹掃 5～10 分鐘，清除粉塵、顆粒、殘留油污。

• 法蘭密封面：專用真空清潔紙蘸無水乙醇單向擦拭，禁止來回擦；擦完后用高純氮氣吹干，無纖維、無水印、無油污。

• 金屬墊片：無水乙醇清洗，氮氣吹干，潔凈環境存放，手禁止直接觸摸密封面（戴無塵手套）。

• 工具：扭矩扳手、無塵手套、潔凈鑷子、放大鏡、氦檢漏儀，提前清潔。

三、安裝步驟（規范對位、對角緊固，避免應力）

1. 系統準備

• 管路兩端 ICF253 法蘭清潔完畢，密封面朝上 / 水平放置，無雜質。

• 設備斷電、系統泄壓至常壓，無壓力殘留。

• 安裝位置：優先水平安裝；垂直安裝時波紋管自然下垂，無扭曲、無拉扯；避免彎曲半徑過小（短款最小彎曲半徑 ≥150 mm）。

• 預留補償量：安裝時處于自由長度，不預拉、不預壓；確保熱脹冷縮時能自由伸縮。

1. 對位與放墊片

• 雙手托住波紋管兩端法蘭，平穩移至管路接口，兩端法蘭完全同軸、端面平行，無錯位、無傾斜。

• 在一端法蘭刀邊上放全新金屬密封墊片，墊片居中、無偏移、無褶皺，墊片兩面干凈無指紋。

1. 螺栓穿插與預緊

• 穿插所有法蘭螺栓（ICF253 通常 12 個 M12 螺栓），手動擰入螺母 2～3 圈，確保無卡滯。

• 對角分步預緊：先對角 180° 螺栓輕輕擰至貼合，再依次對角預緊，分 2～3 輪，不一次擰死，保證法蘭受力均勻、無翹邊。

1. 扭矩終緊（關鍵，防止泄漏與法蘭變形）

• 使用校準過的扭矩扳手，ICF253 標準扭矩：M12 螺栓 45～50 N?m（無氧銅墊片）；不銹鋼墊片可略高 5～10%。

• 對角分次終緊：分 2 輪，每輪對角同步加力，最終扭矩一致，嚴禁單邊擰緊、嚴禁超扭矩（會壓壞刀邊、變形）。

• 緊固后檢查：法蘭無翹曲、無間隙；波紋管無扭曲、無軸向拉扯，處于自然松弛狀態。

1. 外部防護

• 安裝防塵套 / 防護套，避免粉塵、油污、機械碰撞；遠離高溫熱源（如烘烤爐、加熱棒），必要時加隔熱層。

• 固定支架：波紋管兩端管路加限位支架，限制超行程位移；支架不直接壓在波紋管本體上。

四、抽真空與檢漏（必須達標才能投入使用）

1. 初始抽真空

• 緩慢啟動真空泵組（機械泵→分子泵順序），逐步升壓，避免沖擊。

• 抽氣速率控制：初期低速率，防止氣流沖擊波紋管導致振動、變形。

• 觀察波紋管：抽氣過程中無明顯變形、無異響、無抖動；若出現塌陷、異響，立即停泵檢查（可能安裝過緊、扭曲或內部有異物）。

1. 氦質譜檢漏（超高真空必做）

• 系統粗抽至 1～10 Pa 后，用氦氣噴槍沿波紋管本體、法蘭接縫、焊縫、編織層均勻掃噴。

• 檢漏儀讀數：整機泄漏率 ≤1×10?1? Pa?m3/s 為合格；局部漏點需標記、泄壓、重新清潔密封面、換墊片、復緊螺栓后重檢。

• 全真空檢漏：達到 10?? Pa 后復測，泄漏率穩定無上升，確認密封可靠。

1. 烘烤（如需）

• 超高真空系統需 150～200℃ 烘烤除氣時，緩慢升溫（≤5℃/h），避免熱沖擊；波紋管溫度均勻，無局部過熱；烘烤后自然冷卻，再復測檢漏。

五、正常運行使用（控制位移、溫度、振動，定期巡檢）

1. 運行參數控制

• 真空度：維持在設計范圍（10??～10?11 Pa），避免頻繁破真空。

• 溫度：工作溫度 ≤200℃，短時烘烤 ≤250℃；嚴禁超溫，防止材質軟化、變形、泄漏。

• 位移：軸向、徑向、角向均在額定位移內；無強制拉伸、壓縮、扭曲。

• 振動：運行平穩，無共振、無劇烈抖動；振動值 ≤0.1 mm（峰峰值），超標時加固支架或加減振器。

1. 日常巡檢（每日 / 每班）

• 外觀：波紋管無變形、無裂紋、無斷絲；法蘭無松動、無泄漏痕跡。

• 真空：真空度穩定，無異常下降；氦檢漏定期復測（每周 / 每月）。

• 溫度：無局部過熱；隔熱層完好。

• 記錄：填寫運行臺賬，記錄真空度、溫度、振動、檢漏數據。

六、停機與重啟（規范泄壓、保護密封面）

1. 正常停機

• 先停分子泵，待轉速降至安全值后停機械泵。

• 緩慢破真空：通入干燥高純氮氣，避免氣流沖擊波紋管；嚴禁快速放氣導致波紋管塌陷、變形。

• 停機后：法蘭密封面可加蓋防塵堵頭；波紋管外部套防塵套，防止污染。

1. 長期停機（>7 天）

• 系統破空至常壓，兩端法蘭裝原廠防塵堵頭，隔絕潮氣、粉塵。

• 波紋管保持自然松弛，無拉伸、無壓縮；存放環境干燥、潔凈、無腐蝕性氣體。

1. 重啟

• 清潔檢查：法蘭密封面、墊片、波紋管重新清潔、氮氣吹掃。

• 檢漏：抽真空至粗真空后氦檢漏，合格后再投入運行。

七、禁忌與安全要點（嚴禁違規操作，避免損壞與泄漏）

• 嚴禁超溫、超壓、超額定位移使用；嚴禁強制扭曲、拉扯波紋管。

• 嚴禁用含氯、強酸、強堿清潔劑；嚴禁鋼絲刷、硬質刮刀接觸密封面與波紋。

• 嚴禁手直接觸摸法蘭密封面、金屬墊片；全程戴無塵手套。

• 嚴禁單邊緊固、超扭矩擰緊螺栓；必須對角分次、扭矩均勻。

• 嚴禁在波紋管本體、法蘭、焊縫上焊接、鉆孔、切割；改動結構會導致泄漏。

• 嚴禁液體、粉塵、油污進入波紋管內部；介質必須潔凈干燥。

• 振動環境必須加固限位支架，避免共振；高溫烘烤需緩慢升溫，防止熱沖擊。

• 出現真空度驟降、異響、變形、泄漏，立即停機泄壓，排查處理后再重啟。