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連接等離子體發生器與真空腔體的 10mm 內徑不銹鋼支管,提供穩定真空密封,防止等離子體泄漏與外部氣體滲入
配合 VG10-00 法蘭使用,通過 4 顆 M4 螺栓緊固,實現10??Pa 級真空度,滿足等離子體均勻性要求
不銹鋼材質耐等離子體腐蝕,相比鋁合金法蘭使用壽命延長3 倍以上,降低設備維護成本
實際效果:設備連續運行 8000 小時無泄漏,法蘭拆裝 100 余次仍保持良好密封性能,確保晶圓良率穩定在 99.7% 以上。
作為蒸鍍源與真空腔體的連接接口,適配 10mm 蒸發材料輸送管路,保證蒸鍍過程中10??Pa 高真空環境
平面密封結構避免了溝槽型法蘭可能產生的顆粒殘留問題,降低顯示面板像素點缺陷風險
法蘭厚度僅 6mm,節省狹小設備內部空間,支持多蒸鍍源并行安裝
技術亮點:配合 ADVANTEC 專用氟橡膠 O 型圈,在 180℃蒸鍍溫度下連續工作 72 小時,真空度波動小于 ±0.5%,確保薄膜厚度均勻性誤差控制在 2% 以內。
連接真空發生器與吸附噴嘴的 10mm 管路,提供穩定負壓(-90kPa),確保芯片拾取過程無脫落
法蘭連接便于快速更換不同規格的吸附噴嘴,適配 0.5mm~5mm 尺寸的芯片測試需求
不銹鋼材質耐清洗溶劑腐蝕,適合半導體潔凈車間的頻繁清潔維護
實際應用:設備每小時處理 3000 顆芯片,VF10-00 法蘭連接點無泄漏,真空響應時間穩定在 0.3 秒以內,提升測試分選效率 20%。
連接離子泵與真空腔體的 10mm 抽氣支管,實現10??Pa 超高真空,滿足原子囚禁條件
平面密封結構減少了真空系統中的死體積,提高真空抽氣效率,縮短實驗準備時間
法蘭表面經過精密拋光(Ra≤0.8μm),降低氣體吸附與脫附效應,保證實驗數據準確性
技術突破:配合低溫泵使用,系統真空度達到 1.2×10??Pa,成功實現銣原子的玻色 - 愛因斯坦凝聚,相關成果發表于《Physical Review Letters》。
連接干燥倉與冷凝阱的 10mm 真空管路,維持10?3Pa 真空度,促進水分升華
法蘭拆裝便捷,便于設備內部清潔與消毒,符合生物安全標準
耐低溫設計(-80℃~120℃),適應冷凍干燥過程的溫度變化,無密封失效風險
應用價值:設備單次可處理 20 個樣本,VF10-00 法蘭確保干燥過程中無空氣滲入,樣本含水率控制在 0.5% 以下,保存期限延長至 5 年以上。
作為前驅體氣體(如甲烷、硅烷)的輸送管路接口,管徑適配 10mm 特氟龍管,保證氣體流量精準控制
真空密封性能防止有毒氣體泄漏,保障實驗人員安全
法蘭連接便于快速更換不同反應腔,支持多材料體系的實驗研究
實際效果:實驗臺成功合成高質量石墨烯與二硫化鉬薄膜,VF10-00 法蘭連接點的氣體泄漏率低于 1×10??Pa?m3/s,符合高純氣體輸送標準。
連接電子束蒸發源與真空腔體的 10mm 管路,維持10??Pa 真空度,確保薄膜均勻性
平面密封結構避免了鍍膜過程中顆粒污染,提升鏡片透光率(達 99.8%)
法蘭材質與鏡片鍍膜材料(如二氧化硅、氟化鎂)無反應,保證鍍膜質量穩定性
技術優勢:設備批量生產中,VF10-00 法蘭連接的真空系統連續運行 30 天無故障,鏡片鍍膜合格率達 99.9%,降低生產成本。
作為檢漏儀與被測工件的連接接口,適配 10mm 檢漏管路,實現10?1?Pa?m3/s 級靈敏度檢測
法蘭連接快速便捷,減少工件裝夾時間,提升檢測效率
不銹鋼材質耐氦氣滲透,保證檢漏數據準確性,避免誤判
實際應用:汽車零部件工廠生產線中,每小時檢測 500 個工件,VF10-00 法蘭連接點無虛假泄漏信號,檢測準確率達 100%,幫助客戶降低售后故障率。
連接真空泵與包裝腔的 10mm 管路,實現10?2Pa 真空度,快速抽出包裝內空氣
法蘭密封可靠,防止氮氣泄漏,保證包裝內氮氣純度(≥99.9%)
拆裝便捷,便于設備清潔,符合食品衛生標準(FDA 認證)
應用價值:包裝后的堅果保質期從 6 個月延長至 12 個月,VF10-00 法蘭的穩定密封性能確保產品質量一致性,提升品牌競爭力。
連接真空系統與干燥腔體的 10mm 支管,維持10?3Pa 真空度,去除電極材料中的水分
耐溫性能(最高 200℃)適應干燥過程的高溫要求,無密封老化問題
不銹鋼材質耐電解液腐蝕,延長設備使用壽命
技術突破:干燥后的電極片含水率降至 5ppm 以下,電池能量密度提升 8%,VF10-00 法蘭的穩定密封性能為生產工藝提供可靠保障。
連接真空吸盤與真空發生器的 10mm 管路,提供穩定負壓,確保電池片在焊接過程中無位移
法蘭連接便于快速更換不同規格的吸盤,適配 125mm×125mm 至 156mm×156mm 尺寸的電池片
耐高頻振動設計,適應焊接過程的機械運動,無密封松動風險
實際效果:焊接后的電池片串電阻降低 15%,VF10-00 法蘭的穩定性能提升了光伏組件的發電效率,幫助客戶降低度電成本。
通用性強:與 VG10-00 法蘭配對使用,適配日本工業設備的標準接口,降低系統集成成本
可靠性高:平面密封結構 + SUS304 材質組合,確保長期穩定運行,減少維護頻率
靈活性好:拆裝便捷,支持快速更換組件,提升設備利用率與實驗效率
適配性廣:可與多種密封件(氟橡膠、硅橡膠、Kalrez)組合,滿足不同溫度與介質要求