根據(jù)管路通徑、系統(tǒng)整體尺寸以及真空腔體接口標(biāo)準(zhǔn),選擇對應(yīng)外徑規(guī)格,不同規(guī)格適用場景差異明顯。
ICF34 為小型標(biāo)準(zhǔn)法蘭,整體體積小巧,適配細(xì)管徑真空管路,多用于實(shí)驗(yàn)室小型真空裝置、分析檢測儀器、微型鍍膜設(shè)備、管路分支接口等空間緊湊、通流量較小的系統(tǒng),是小型超高真空設(shè)備的主流選型。
ICF70 為中號主力規(guī)格,通用性最強(qiáng),兼顧通徑大小與安裝便捷性,廣泛應(yīng)用于常規(guī)真空鍍膜機(jī)、中小型半導(dǎo)體工藝設(shè)備、真空熱處理設(shè)備、科研實(shí)驗(yàn)腔體等絕大多數(shù)工業(yè)及實(shí)驗(yàn)室場景,也是管路轉(zhuǎn)接、設(shè)備主接口最常用的規(guī)格。
ICF114、ICF152 等大尺寸法蘭,對應(yīng)大口徑真空管道,通流能力更強(qiáng),主要搭配大型真空腔體、高抽速真空機(jī)組、連續(xù)化量產(chǎn)型工業(yè)真空設(shè)備、大型鍍膜生產(chǎn)線使用,適用于大流量氣體輸送、大容積腔體抽真空的工況。
選型時需優(yōu)先核對設(shè)備原有接口、對接管件的法蘭外徑,保證規(guī)格完全統(tǒng)一,確保元件之間正常互換裝配。