日本ADVANTEC愛(ài)德萬(wàn)泰克 ICF70-H 固定法蘭 核心技術(shù)特點(diǎn)
一、標(biāo)準(zhǔn)ICF全金屬刀口密封設(shè)計(jì)，密封可靠性優(yōu)異
本款I(lǐng)CF70-H為ICF標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格固定法蘭，后綴H代表一體式固定結(jié)構(gòu)，無(wú)旋轉(zhuǎn)活動(dòng)部件，整體為剛性一體成型結(jié)構(gòu)，不存在轉(zhuǎn)動(dòng)配合間隙，從結(jié)構(gòu)上徹底規(guī)避間隙滲漏問(wèn)題。產(chǎn)品端面按照國(guó)際超高真空ICF規(guī)范精密車削出環(huán)形刀口，刀口角度、刃口鋒利度與平面度經(jīng)過(guò)嚴(yán)格管控，安裝作業(yè)時(shí)依靠螺栓組均勻施加預(yù)緊力，擠壓配套無(wú)氧銅密封墊產(chǎn)生均勻塑性形變，形成緊密貼合的金屬硬密封。該密封形式不依賴橡膠、塑料等有機(jī)材質(zhì)，不存在老化、硬化、揮發(fā)滲漏等問(wèn)題，實(shí)測(cè)整體泄漏率穩(wěn)定控制在1.33×10?11 Pa·m3/s以內(nèi)，可長(zhǎng)期穩(wěn)定維持10?? Pa及以上等級(jí)的超高真空環(huán)境，廣泛適配半導(dǎo)體工藝、光學(xué)鍍膜、真空檢測(cè)、高端實(shí)驗(yàn)室等嚴(yán)苛工況。
二、優(yōu)質(zhì)低碳不銹鋼基材，低放氣、抗腐蝕、結(jié)構(gòu)穩(wěn)固
產(chǎn)品主體標(biāo)配SUS304L低碳不銹鋼材質(zhì)，同時(shí)可根據(jù)客戶現(xiàn)場(chǎng)工況需求定制SUS316L不銹鋼版本。材質(zhì)中低碳含量的特殊配比，能夠有效抑制法蘭在現(xiàn)場(chǎng)焊接、高溫烘烤過(guò)程中碳化物沿晶界析出，大幅降低晶間腐蝕發(fā)生概率，保證法蘭在長(zhǎng)期高溫、負(fù)壓、冷熱交替環(huán)境下的整體機(jī)械強(qiáng)度與結(jié)構(gòu)完整性。兩類不銹鋼基材均具備行業(yè)領(lǐng)先的低放氣特性，材料內(nèi)部雜質(zhì)含量低，表面不易吸附水汽、有機(jī)氣體及各類雜質(zhì)氣體，在真空抽氣過(guò)程中釋氣量極低，可幫助整套真空系統(tǒng)快速達(dá)到目標(biāo)真空度，縮短設(shè)備待機(jī)與調(diào)試時(shí)長(zhǎng)。同時(shí)不銹鋼本身耐酸堿、耐氧化性能突出，可適配多數(shù)常規(guī)真空工藝氣體環(huán)境，延長(zhǎng)產(chǎn)品整體使用壽命。
三、高精度機(jī)加工+電解拋光處理，尺寸精準(zhǔn)、潔凈度高
法蘭整體采用高精度數(shù)控設(shè)備一體加工成型，刀口密封面、法蘭基準(zhǔn)平面、螺栓安裝孔、管道對(duì)接通孔等所有關(guān)鍵部位，均嚴(yán)格遵循ICF國(guó)際通用尺寸公差標(biāo)準(zhǔn)，同規(guī)格產(chǎn)品之間具備完全互換性，可直接與市面主流品牌ICF系列管件、閥門(mén)、觀察窗、轉(zhuǎn)接法蘭等真空元件無(wú)縫對(duì)接，安裝無(wú)需額外打磨、修正，裝配便捷高效。法蘭內(nèi)部流道、密封端面等與真空介質(zhì)接觸的區(qū)域，統(tǒng)一采用專業(yè)電解拋光工藝處理，經(jīng)過(guò)拋光后工件表面粗糙度大幅降低，表面微觀孔隙基本被填平，不僅可以減少氣體吸附量、進(jìn)一步降低系統(tǒng)整體放氣率，還能抑制粉塵、微小顆粒物附著，滿足半導(dǎo)體、精密電子等對(duì)腔體潔凈度要求極高的使用場(chǎng)景，有效避免產(chǎn)品被雜質(zhì)污染。
四、強(qiáng)耐溫性能，支持高溫烘烤除氣工藝
搭配原廠配套無(wú)氧銅密封墊使用時(shí)，ICF70-H固定法蘭可耐受最高450℃的持續(xù)高溫烘烤作業(yè)。在超高真空系統(tǒng)日常運(yùn)維中，高溫烘烤是去除腔體內(nèi)壁、管路、法蘭表面吸附水汽、碳?xì)浠衔?、殘留工藝氣體的核心工序，本產(chǎn)品優(yōu)異的耐高溫特性，可全程配合烘烤作業(yè)，不會(huì)因高溫出現(xiàn)變形、密封失效、材質(zhì)變質(zhì)等問(wèn)題。區(qū)別于傳統(tǒng)橡塑密封件，金屬密封組合在高溫環(huán)境下無(wú)有機(jī)物分解、無(wú)有害氣體揮發(fā)，不會(huì)對(duì)真空腔體內(nèi)部環(huán)境造成二次污染，完美適配需要定期高溫除氣的連續(xù)化生產(chǎn)型真空設(shè)備。
五、一體體式固定結(jié)構(gòu)，抗形變、抗振動(dòng)，通用性與適配性強(qiáng)
ICF7H采用非旋轉(zhuǎn)一體式固定結(jié)構(gòu)，整體結(jié)構(gòu)緊湊、剛性十足，相較于旋轉(zhuǎn)法蘭，減少了轉(zhuǎn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)帶來(lái)的松動(dòng)隱患。在設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生持續(xù)振動(dòng)、場(chǎng)地環(huán)境存在頻繁溫度變化、管路存在輕微應(yīng)力拉扯的工況下，法蘭連接狀態(tài)始終保持穩(wěn)定，密封性能不會(huì)受外力影響而下降，大幅降低設(shè)備后期檢修、更換配件的頻次，減少運(yùn)維成本。作為ADVANTEC標(biāo)準(zhǔn)ICF中大型法蘭主力型號(hào)，該款產(chǎn)品擁有多種標(biāo)準(zhǔn)通孔內(nèi)徑規(guī)格，可直接對(duì)接不同管徑的真空管道，既支持現(xiàn)場(chǎng)焊接固定，也可配合標(biāo)準(zhǔn)緊固件完成快速組裝，適配多種真空管路布局方案，系統(tǒng)搭建靈活度高，通用性覆蓋絕大多數(shù)中大型超高真空管路系統(tǒng)。