一、全金屬刀口密封結(jié)構(gòu)，超高真空級密封性能采用 ICF 標(biāo)準(zhǔn)全金屬刀口密封設(shè)計，型號后綴 “H” 代表無旋轉(zhuǎn)固定法蘭結(jié)構(gòu)，屬于剛性一體式設(shè)計，無活動間隙，從根本上消除了潛在泄漏路徑。密封端面經(jīng)過超高精度加工，形成銳利且均勻的刀口，安裝時通過螺栓均勻預(yù)緊擠壓無氧銅密封墊，使銅墊發(fā)生塑性變形，實現(xiàn)永久的金屬 - 金屬密封。其標(biāo)準(zhǔn)泄漏率可達 1.33×10?11 Pa?m3/s 以下，能夠穩(wěn)定維持 10?? Pa 量級的超高真空環(huán)境，完全滿足半導(dǎo)體、真空鍍膜等對真空度要求極高的場景需求。

二、低碳不銹鋼材質(zhì)，低放氣率與高耐腐蝕性默認采用 SUS304L 低碳不銹鋼材質(zhì)，也可根據(jù)用戶需求提供 SUS316L 不銹鋼版本。低碳成分設(shè)計有效避免了焊接及高溫烘烤過程中碳化物的析出，杜絕晶間腐蝕風(fēng)險，保障法蘭在長期高溫、真空環(huán)境下的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。同時，不銹鋼材質(zhì)本身具有極低的放氣率，表面不易吸附和釋放氣體，能顯著減少真空系統(tǒng)內(nèi)的氣源干擾，助力系統(tǒng)快速抽至極限真空狀態(tài)。

三、高精度加工與電解拋光工藝，保障性能與互換性法蘭的密封面、刀口、螺栓孔均采用高精度數(shù)控加工，嚴格遵循 ICF 國際標(biāo)準(zhǔn)公差，確保與同規(guī)格 ICF 法蘭、管件、閥門等元件的完美互換性，無需額外適配即可直接安裝使用。關(guān)鍵密封面還經(jīng)過電解拋光處理，大幅降低表面粗糙度，減少表面微孔隙與污染物殘留，從源頭降低放氣率與氣體吸附，提升真空系統(tǒng)的極限性能與清潔度，尤其適配對顆粒污染敏感的半導(dǎo)體制造場景。

四、耐高溫烘烤性能，適配高要求除氣工藝配合無氧銅密封墊使用時，該法蘭可承受最高 450℃的高溫烘烤工藝。這對于去除真空腔體內(nèi)表面吸附的水汽、碳氫化合物等殘留氣體至關(guān)重要，能顯著縮短系統(tǒng)抽真空的時間，同時避免有機密封材料在高溫下分解揮發(fā)污染真空環(huán)境，適配需要定期烘烤除氣的超高真空系統(tǒng)。

五、一體式固定結(jié)構(gòu)，長期穩(wěn)定性與通用性強采用無旋轉(zhuǎn)的一體式固定結(jié)構(gòu)，消除了旋轉(zhuǎn)部件之間的配合間隙，結(jié)構(gòu)剛性更強，在長期振動、冷熱循環(huán)工況下，能始終保持連接的牢固性與密封性能，減少后期維護成本。同時，作為 ADVANTEC ICF 小型法蘭系列的基礎(chǔ)型號，它支持多種通孔內(nèi)徑衍生規(guī)格，可直接與不同管徑的真空管道焊接或配套連接，無需定制加工，大幅提升系統(tǒng)搭建的通用性與靈活性。