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合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
(簡稱：芯碁微裝)，成立于2015年6月，注冊資本12080萬元，坐落于合肥市高新區集成電路產業基地，公司專業從事以微納直寫光刻為技術核心的直接成像設備及直寫光刻設備的研發和生產。主要產品及服務包括PCB直接成像設備及自動線系統、泛半導體直寫光刻設備及自動線系統、其他激光直接成像設備。公司堅持自主研發與創新，擁有完整的自主知識產權。憑借團隊領先的研發水平，公司獲得百余項技術專利，并獲批建立了 “外國專家工作室”和“第十批省級博士后科研工作站”。
